04/07/2026
ซีรีส์ SEM/EDS โดย DOSEM ตอนที่ 8/50
การติดตัวอย่างบน Stub คืออะไร
Carbon Tape, Conductive Tape, Silver Paste, Holder และการยึดตัวอย่างไม่ให้หลุดใน Chamber
************************************************
เรียบเรียงโดย : กอล์ฟ มนัสนันท์ ศักดิ์ธนกรสกุล.
มีประสบการณ์ด้าน SEM/EDS มากกว่า 32 ปี
************************************************
ในงาน SEM/EDS การเตรียมตัวอย่างไม่ได้จบแค่ “ตัดตัวอย่างให้เล็ก” หรือ “ทำให้ตัวอย่างแห้ง” เท่านั้น แต่ยังมีขั้นตอนสำคัญอีกอย่างหนึ่ง คือการติดตัวอย่างลงบน Stub หรือแท่นวางตัวอย่างให้ถูกต้อง
หลายคนอาจคิดว่า การติดตัวอย่างเป็นเรื่องเล็ก ๆ แค่เอาตัวอย่างวางแล้วเข้าเครื่องได้เลย แต่ในความจริง การติดตัวอย่างบน Stub มีผลโดยตรงต่อคุณภาพของภาพ SEM ความนิ่งของตัวอย่าง การเกิด Charging ความถูกต้องของตำแหน่งตรวจ และผล EDS ที่ได้
ถ้าติดตัวอย่างดี ภาพจะนิ่ง โฟกัสง่าย ตรวจตำแหน่งได้แม่น และลดความเสี่ยงต่อเครื่องมือ
แต่ถ้าติดตัวอย่างไม่ดี ตัวอย่างอาจขยับ หลุด ฟุ้ง สั่น ชาร์จ หรือทำให้ผล EDS เพี้ยนได้
นี่คือเหตุผลว่า ทำไมการติดตัวอย่างบน Stub จึงเป็นขั้นตอนสำคัญมากของงาน SEM/EDS
Stub คืออะไร
Stub คือแท่นวางตัวอย่างสำหรับเครื่อง SEM
พูดให้เข้าใจง่าย Stub คือ “แท่นเล็ก ๆ” ที่ใช้ติดตัวอย่างก่อนนำเข้าเครื่อง SEM
ตัวอย่างจะไม่ถูกวางลงในเครื่อง SEM แบบลอย ๆ แต่ต้องติดอยู่บน Stub หรือแท่นรองให้มั่นคงก่อน จากนั้น Stub จะถูกนำไปติดตั้งบน Sample Holder หรือ Stage ของเครื่อง SEM อีกทีหนึ่ง
Stub โดยทั่วไปมักทำจากวัสดุนำไฟฟ้า เช่น อะลูมิเนียม ทองเหลือง หรือวัสดุโลหะอื่น ๆ ตามระบบของเครื่องและงานที่ใช้
หน้าที่ของ Stub คือ
รองรับตัวอย่างช่วยให้จับและย้ายตัวอย่างได้สะดวกช่วยให้ตัวอย่างอยู่ในตำแหน่งที่มั่นคงช่วยให้ตัวอย่างสัมผัสกับทางนำไฟฟ้าช่วยลดปัญหา Charging ในตัวอย่างบางชนิดช่วยให้ผู้ใช้ควบคุมตำแหน่งตรวจได้ดีขึ้น
ดังนั้น Stub ไม่ใช่แค่ฐานรองธรรมดา แต่เป็นส่วนหนึ่งของระบบการเตรียมตัวอย่าง SEM
Holder คืออะไร
Holder หรือ Sample Holder คือชุดจับยึด Stub หรือตัวอย่างภายในเครื่อง SEM
ถ้า Stub คือแท่นเล็ก ๆ ที่ใช้ติดตัวอย่าง Holder ก็คือชุดจับหรือฐานที่นำ Stub ไปติดตั้งกับ Stage ของเครื่อง SEM
ใน SEM บางรุ่น Holder อาจมีหลายแบบ เช่น
Holder สำหรับ Stub หลายตัวHolder สำหรับตัวอย่างชิ้นใหญ่Holder สำหรับตัวอย่างตัดขวางHolder สำหรับตัวอย่างเอียงHolder สำหรับงาน EBSDHolder สำหรับงาน TEM gridHolder สำหรับงานเฉพาะทางของแต่ละรุ่นเครื่อง
หน้าที่ของ Holder คือช่วยให้ Stub และตัวอย่างถูกยึดกับ Stage อย่างมั่นคง และสามารถเคลื่อนตำแหน่งภายใน Chamber ได้อย่างปลอดภัย
ถ้าติด Stub กับ Holder ไม่แน่น หรือใช้ Holder ไม่เหมาะกับตัวอย่าง อาจเกิดปัญหาตัวอย่างหลุด ขยับ ชนภายในเครื่อง หรือวิเคราะห์ผิดตำแหน่งได้
Chamber คืออะไร
Chamber หรือ Sample Chamber คือห้องตัวอย่างของเครื่อง SEM
เป็นพื้นที่ภายในเครื่องที่ตัวอย่างถูกนำเข้าไปวาง และเป็นบริเวณที่ลำอิเล็กตรอนยิงลงบนตัวอย่างจริง
ภายใน Chamber จะมี Stage, Holder, Detector และชิ้นส่วนสำคัญอื่น ๆ อยู่ใกล้กัน
ดังนั้นตัวอย่างที่นำเข้าไปใน Chamber ต้องมีขนาดเหมาะสม ยึดแน่น ไม่หลุดง่าย ไม่ฟุ้ง ไม่เปียก และไม่เสี่ยงต่อการปนเปื้อนเครื่องมือ
ถ้าตัวอย่างหลุดใน Chamber อาจทำให้เกิดปัญหาได้ เช่น
ตัวอย่างตกในเครื่องผงกระจายภายใน Chamberปนเปื้อน Detector หรือ Stageกระทบต่อระบบสุญญากาศเสียเวลาในการทำความสะอาดเพิ่มความเสี่ยงต่อเครื่องมือทำให้การตรวจครั้งนั้นล้มเหลว
ดังนั้นการยึดตัวอย่างให้แน่นก่อนเข้า Chamber จึงสำคัญมาก
ทำไมต้องติดตัวอย่างให้แน่น
SEM ทำงานภายใต้ระบบสุญญากาศ และลำอิเล็กตรอนจะถูกสแกนลงบนตัวอย่างด้วยความละเอียดสูง
ถ้าตัวอย่างขยับแม้เพียงเล็กน้อย ภาพ SEM อาจไม่คม หรืออาจเกิดอาการสั่น เบลอ โฟกัสยาก และตำแหน่งตรวจเปลี่ยนไป
ในงาน EDS ถ้าตัวอย่างเคลื่อนระหว่างยิงธาตุ ผลที่ได้อาจไม่ใช่ตำแหน่งที่ต้องการตรวจจริง
ในงาน Mapping ถ้าตัวอย่างขยับ แผนที่ธาตุอาจคลาดเคลื่อน
ในงาน Line Scan ถ้าตัวอย่างสั่น เส้นที่วิเคราะห์อาจไม่ตรงกับตำแหน่งเดิม
ดังนั้นการยึดตัวอย่างให้แน่นเป็นเรื่องสำคัญทั้งต่อภาพ SEM และผล EDS
พูดง่าย ๆ คือ
ตัวอย่างต้องนิ่งตำแหน่งต้องไม่เคลื่อนผงต้องไม่ฟุ้งชิ้นงานต้องไม่หลุดจุดตรวจต้องอยู่ตรงเดิม
Carbon Tape คืออะไร
Carbon Tape คือเทปคาร์บอนนำไฟฟ้า ใช้สำหรับติดตัวอย่างลงบน Stub
เป็นวัสดุที่ใช้บ่อยมากในงาน SEM เพราะใช้งานง่าย ติดตัวอย่างได้รวดเร็ว และช่วยให้ตัวอย่างสัมผัสกับทางนำไฟฟ้าได้ดีขึ้น
Carbon Tape มักใช้กับตัวอย่างหลายประเภท เช่น
ผงฝุ่นอนุภาคพลาสติกยางเซรามิกเศษชิ้นงานขนาดเล็กตัวอย่างที่ต้องการติดแบบรวดเร็วตัวอย่างที่ต้องการดูพื้นผิวทั่วไป
ข้อดีของ Carbon Tape คือ
ใช้งานง่ายติดตัวอย่างได้เร็วเหมาะกับตัวอย่างขนาดเล็กช่วยยึดผงและอนุภาคได้ดีช่วยเชื่อมทางนำไฟฟ้าบางส่วนใช้กับงาน SEM ทั่วไปได้สะดวก
แต่ Carbon Tape ก็มีข้อจำกัดสำคัญ โดยเฉพาะงาน EDS
เพราะ Carbon Tape มีคาร์บอน ถ้าตรวจใกล้บริเวณเทป หรือยิงทะลุถึงเทป อาจทำให้ผล EDS มีคาร์บอนสูง หรือมีสัญญาณคาร์บอนจากเทปรบกวนได้
ดังนั้นถ้างานต้องวิเคราะห์คาร์บอนอย่างจริงจัง ต้องระวังการใช้ Carbon Tape
Conductive Tape คืออะไร
Conductive Tape คือเทปนำไฟฟ้าที่ใช้ช่วยยึดตัวอย่างและช่วยระบายประจุไฟฟ้า
Carbon Tape ถือเป็น Conductive Tape ชนิดหนึ่ง แต่ในงาน SEM อาจมีเทปนำไฟฟ้าแบบอื่น ๆ เช่น เทปคาร์บอน เทปทองแดง เทปอะลูมิเนียม หรือเทปนำไฟฟ้าเฉพาะทาง
เทปนำไฟฟ้ามีประโยชน์มากเมื่อใช้กับตัวอย่างไม่นำไฟฟ้า เพราะช่วยให้ประจุไฟฟ้าบางส่วนระบายจากผิวตัวอย่างไปยัง Stub และ Stage ได้ดีขึ้น
ข้อดีของ Conductive Tape คือ
ช่วยยึดตัวอย่างช่วยลด Chargingใช้งานสะดวกเหมาะกับตัวอย่างขนาดเล็กช่วยให้ตัวอย่างสัมผัสกับระบบนำไฟฟ้าได้ดีขึ้น
แต่ต้องระวังว่าเทปแต่ละชนิดมีธาตุของตัวเอง
เทปคาร์บอนให้สัญญาณ Cเทปทองแดงอาจให้สัญญาณ Cuเทปอะลูมิเนียมอาจให้สัญญาณ Alกาวของเทปอาจมี C, O หรือธาตุอื่น
ดังนั้นถ้าต้องทำ EDS ต้องเลือกเทปให้เหมาะกับธาตุที่ต้องการวิเคราะห์
Silver Paste คืออะไร
Silver Paste หรือ Silver Paint คือกาวหรือสีเงินนำไฟฟ้าที่มีอนุภาคเงินผสมอยู่ ใช้สำหรับเชื่อมทางนำไฟฟ้าระหว่างตัวอย่างกับ Stub หรือใช้ช่วยยึดตัวอย่างบางประเภท
Silver Paste มีประโยชน์มากในงานที่ต้องการลด Charging เพราะเงินนำไฟฟ้าได้ดี ช่วยให้ประจุไหลจากตัวอย่างไปยัง Stub ได้ดีขึ้น
Silver Paste มักใช้ในกรณี เช่น
ตัวอย่างไม่นำไฟฟ้าตัวอย่างต้องการ conductive path เพิ่มตัวอย่างชิ้นเล็กที่ต้องยึดให้แน่นตัวอย่างที่ต้องลด charging เฉพาะจุดงานที่ต้องการให้ขอบตัวอย่างเชื่อมกับ Stub ได้ดีขึ้น
แต่ Silver Paste มีข้อควรระวังสำคัญมาก คือ ถ้าทำ EDS แล้วยิงใกล้ตำแหน่ง Silver Paste จะพบสัญญาณ Ag หรือเงินในผล EDS
ดังนั้นต้องระวังไม่ให้ Silver Paste อยู่ใกล้ตำแหน่งที่ต้องการวิเคราะห์ธาตุ หรือถ้าจำเป็นต้องใช้ ต้องบันทึกและแจ้งให้ผู้แปลผลทราบ
Silver Paste ดีมากสำหรับการนำไฟฟ้า แต่ไม่ควรใช้แบบไม่ระวังในงาน EDS
Carbon Tape กับ Silver Paste ต่างกันอย่างไร
Carbon Tape ใช้งานง่าย เหมาะกับการติดตัวอย่างทั่วไป ผง ฝุ่น และชิ้นเล็ก ๆ
Silver Paste ใช้เมื่ออยากเพิ่มการนำไฟฟ้าและลด Charging ให้ดีขึ้น โดยเฉพาะตัวอย่างที่ต้องการ conductive path ที่แน่นและชัดเจน
แต่ทั้งสองอย่างมีผลต่อ EDS
Carbon Tape อาจเพิ่มสัญญาณ CSilver Paste อาจเพิ่มสัญญาณ Ag
ดังนั้นการเลือกใช้ต้องดูคำถามของงาน
ถ้าต้องการดูภาพ SEM อย่างเดียว Carbon Tape อาจเพียงพอในหลายกรณีถ้าตัวอย่าง charging มาก Silver Paste อาจช่วยได้ถ้าต้องอ่าน C ต้องระวัง Carbon Tapeถ้าต้องอ่าน Ag หรือธาตุใกล้เคียง ต้องระวัง Silver Pasteถ้าต้องตรวจสิ่งปนเปื้อน ต้องระวังไม่ให้เทปหรือ paste กลายเป็นแหล่งปนเปื้อนใหม่
ไม่มีวัสดุยึดตัวอย่างชนิดใดดีที่สุดเสมอไป
มีแต่ “เหมาะกับงานนั้นหรือไม่”
การติดตัวอย่างโลหะบน Stub
ตัวอย่างโลหะมักติดตั้งง่าย เพราะนำไฟฟ้าได้ดี
ถ้าเป็นชิ้นโลหะขนาดเล็กและวางนิ่งได้ อาจยึดด้วย carbon tape หรือ clamp ตามความเหมาะสม
ถ้าต้องการดูผิวแตกหัก ต้องให้ผิวแตกหักหันขึ้นหรือหันไปทาง detector ในตำแหน่งที่เหมาะสม
ถ้าต้องการทำ EDS ต้องหลีกเลี่ยงการยิงใกล้เทป กาว หรือวัสดุยึดที่อาจให้ธาตุรบกวน
ถ้าตัวอย่างโลหะมีคราบ สนิม หรือสิ่งปนเปื้อน ต้องยึดให้แน่นโดยไม่ไปแตะหรือทำลายคราบ
การติดตัวอย่างพลาสติกและยาง
พลาสติกและยางมักไม่นำไฟฟ้า จึงต้องยึดให้แน่นและลดการเกิด Charging
โดยทั่วไปอาจใช้ carbon tape ติดตัวอย่างบน Stub และอาจเคลือบผิวด้วยทอง คาร์บอน หรือใช้ Low Vacuum ตามความเหมาะสม
ถ้าตัวอย่างอ่อนหรือยืดหยุ่น ต้องระวังไม่ให้ตัวอย่างงอหรือขยับระหว่างตรวจ
ถ้าต้องการดูผิวแตกหัก ควรให้ผิวแตกหักอยู่ในตำแหน่งที่มองเห็นชัด และไม่ถูกเทปหรือกาวทับบริเวณที่ต้องการตรวจ
ถ้าต้องการอ่าน EDS ของ filler หรือสิ่งปนเปื้อน ต้องระวังว่าวัสดุยึดตัวอย่างและสารเคลือบผิวอาจรบกวนผลธาตุได้
การติดผง ฝุ่น และอนุภาค
ผง ฝุ่น และอนุภาคเป็นกลุ่มที่ต้องระวังมาก เพราะถ้าฟุ้งหรือยึดไม่แน่น อาจปนเปื้อน Chamber ได้
วิธีที่ใช้บ่อยคือแตะผงปริมาณน้อยลงบน carbon tape ให้ผงติดเป็นชั้นบาง ๆ ไม่หนาเกินไป และไม่กองเป็นก้อนใหญ่
หลังติดผง ควรลดผงส่วนเกินที่ไม่ยึดแน่นออกอย่างระมัดระวัง ก่อนนำเข้า SEM
หลักสำคัญคือ
ใช้ผงน้อยกระจายให้บางยึดให้แน่นอย่าให้ผงฟุ้งอย่าให้ผงหลุดใน Chamberอย่าติดผงหนาเกินจนโฟกัสยากอย่าให้ผงปนกันถ้ามีหลายตัวอย่าง
ถ้าต้องการวิเคราะห์อนุภาคเฉพาะ ต้องกระจายผงให้เห็นอนุภาคแยกกัน เพื่อให้ยิง EDS ได้ตรงเม็ด ไม่ใช่ยิงก้อนรวมที่ผสมหลายอย่าง
การติดเส้นใย
เส้นใย เช่น ไฟเบอร์ เส้นใยสังเคราะห์ เส้นใยธรรมชาติ หรือเส้นใยจากวัสดุอุตสาหกรรม ต้องติดให้เรียบและไม่ลอยมากเกินไป
ถ้าเส้นใยลอย ขยับ หรือยึดไม่แน่น ภาพอาจสั่นและโฟกัสยาก
วิธีทั่วไปคือวางเส้นใยบน carbon tape ให้ติดพอดี และจัดทิศทางให้สามารถดูพื้นผิวหรือหน้าตัดของเส้นใยได้ตามต้องการ
ถ้าต้องการวิเคราะห์หน้าตัดเส้นใย อาจต้องเตรียมตัวอย่างแบบตัดขวางหรือฝังเรซินก่อน
ถ้าต้องการ EDS ต้องระวังสัญญาณจาก carbon tape เพราะเส้นใยบางชนิดมีคาร์บอนเป็นองค์ประกอบหลักอยู่แล้ว
การติดตัวอย่างที่มีคราบหรือสิ่งปนเปื้อน
ถ้าต้องการตรวจคราบ สนิม ฝุ่น จุดดำ หรือสิ่งปนเปื้อน ต้องติดตัวอย่างโดยรักษาหลักฐานนั้นไว้
ห้ามใช้เทป กาว หรือ paste ทับบริเวณคราบที่ต้องการตรวจ
ห้ามเช็ด ห้ามล้าง ห้ามขัด ถ้าคราบคือปัญหา
การติดตัวอย่างต้องให้จุดที่มีคราบหันขึ้นและเข้าถึงได้ง่าย เพื่อให้ SEM สามารถถ่ายภาพและ EDS สามารถยิงจุดนั้นได้
ถ้าคราบมีน้อยมาก ควรถ่ายภาพ macro หรือวงตำแหน่งให้ชัดก่อนส่ง เพื่อให้ Lab หาเป้าหมายได้ง่าย
การติดตัวอย่างสำหรับงาน Cross-section
งาน Cross-section คือการดูหน้าตัดของตัวอย่าง เช่น ชั้นเคลือบ ฟิล์มบาง รอยต่อวัสดุ หรือโครงสร้างหลายชั้น
การติดตัวอย่างแบบนี้ต้องให้หน้าตัดอยู่ในแนวที่ตรวจได้ และมักต้องผ่านการตัด ฝัง ขัด หรือ polishing ก่อน
ตัวอย่างงาน Cross-section เช่น
ชั้น coatingสีเคลือบPCBsolder jointชั้นฟิล์มบางวัสดุหลายชั้นรอยต่อระหว่างวัสดุการกัดกร่อนจากผิวเข้าไปด้านใน
การติดตัวอย่าง Cross-section ต้องระวังเรื่องความเอียง ความเรียบ และตำแหน่งหน้าตัด เพราะถ้าหน้าตัดไม่ดี ภาพ SEM และผล EDS อาจไม่สะท้อนโครงสร้างจริง
วัสดุยึดตัวอย่างมีผลต่อ EDS
เรื่องนี้สำคัญมาก
วัสดุที่ใช้ติดตัวอย่าง เช่น carbon tape, conductive tape, silver paste, กาว, holder หรือ stub อาจให้ธาตุที่ปรากฏในผล EDS ได้
ตัวอย่างเช่น
Carbon tape อาจให้ CSilver paste อาจให้ AgCopper tape อาจให้ CuAluminium stub อาจให้ Alกาวบางชนิดอาจให้ C, O, Si หรือธาตุอื่นHolder บางชนิดอาจให้โลหะจากวัสดุที่ใช้ทำ
ดังนั้นในการทำ EDS ต้องพยายามยิงเฉพาะตำแหน่งตัวอย่างจริง และหลีกเลี่ยงการยิงใกล้วัสดุยึดตัวอย่าง
ถ้าจำเป็นต้องใช้วัสดุยึดใกล้บริเวณตรวจ ต้องบันทึกไว้และแปลผลด้วยความระมัดระวัง
ถ้ายึดตัวอย่างไม่แน่นจะเกิดอะไรขึ้น
ถ้าตัวอย่างยึดไม่แน่น อาจเกิดปัญหาหลายอย่าง เช่น
ภาพ SEM เบลอภาพสั่นโฟกัสยากตำแหน่งตรวจเคลื่อนEDS ยิงผิดจุดMapping ผิดตำแหน่งLine Scan ไม่ตรงแนวผงหลุดใน Chamberตัวอย่างอาจชนกับชิ้นส่วนภายในเครื่องเสียเวลาในการตรวจเสี่ยงต่อการปนเปื้อนเครื่องมือ
โดยเฉพาะตัวอย่างผง ฟิล์มบาง เส้นใย หรือชิ้นงานเล็กมาก ต้องยึดให้ดีเป็นพิเศษ
ข้อควรระวังเรื่องความสูงของตัวอย่าง
เมื่อยึดตัวอย่างบน Stub แล้ว ต้องดูความสูงรวมของตัวอย่างด้วย
ตัวอย่างที่สูงเกินไปอาจเสี่ยงชนกับชิ้นส่วนภายในเครื่อง หรือทำให้ปรับ Working Distance ได้ไม่เหมาะสม
สำหรับ DOSEM โดยทั่วไปแนะนำให้ตัวอย่างมีความสูงไม่เกินประมาณ 2 เซนติเมตร และถ้าเตรียมให้เตี้ยกว่านี้ได้จะทำงานง่ายขึ้น
ตัวอย่างที่สูง เอียง หรือมีส่วนยื่นออกมา อาจต้องตัด ลดขนาด หรือเตรียมใหม่ก่อนเข้า SEM
ข้อควรระวังเรื่องตำแหน่งตรวจ
การติดตัวอย่างบน Stub ต้องคิดตั้งแต่ต้นว่าจะตรวจตรงไหน
ถ้าติดผิดด้าน อาจมองไม่เห็นจุดสำคัญถ้าจุดตรวจอยู่ชิดเทปเกินไป อาจมีสัญญาณรบกวนถ้าคราบอยู่ด้านล่าง อาจยิงไม่ได้ถ้าหน้าตัดเอียงมาก อาจอ่าน EDS ได้ไม่ดีถ้าตัวอย่างกองหนาเกินไป อาจเลือกอนุภาคยาก
ดังนั้นก่อนติดตัวอย่าง ควรกำหนดจุดตรวจให้ชัด
ต้องการดูผิวหน้าต้องการดูรอยแตกต้องการดูคราบต้องการดูอนุภาคต้องการดูหน้าตัดต้องการทำ Mappingต้องการทำ Line Scan
เมื่อรู้จุดตรวจแล้ว จึงติดตัวอย่างให้เหมาะกับงาน
DOSEM กับแนวทางการติดตัวอย่าง
สำหรับ DOSEM การติดตัวอย่างบน Stub ไม่ใช่แค่ขั้นตอนทางเทคนิคเล็ก ๆ แต่เป็นส่วนหนึ่งของคุณภาพงานวิเคราะห์
แนวทางสำคัญคือ
ตัวอย่างต้องยึดแน่นตำแหน่งตรวจต้องชัดวัสดุยึดต้องเหมาะกับงานลดการปนเปื้อนลด Chargingลดความเสี่ยงต่อ Chamberระวังวัสดุยึดรบกวนผล EDSรักษาหลักฐานสำคัญ เช่น คราบ สนิม หรือสิ่งปนเปื้อนเลือกวิธีติดตามวัตถุประสงค์ของงาน
การติดตัวอย่างที่ดีช่วยให้ได้ภาพ SEM ที่ดีขึ้น และช่วยให้ผล EDS น่าเชื่อถือขึ้น
บทสรุป
Stub คือแท่นวางตัวอย่างสำหรับ SEM ใช้รองรับและยึดตัวอย่างก่อนนำเข้าเครื่อง
Holder คือชุดจับยึด Stub หรือตัวอย่างเข้ากับ Stage ภายในเครื่อง SEM
Carbon Tape คือเทปคาร์บอนนำไฟฟ้าที่ใช้ติดตัวอย่างบน Stub ได้สะดวก
Conductive Tape คือเทปนำไฟฟ้ากลุ่มต่าง ๆ ที่ช่วยยึดตัวอย่างและช่วยระบายประจุ
Silver Paste คือกาวหรือสีเงินนำไฟฟ้าที่ช่วยเพิ่มทางนำไฟฟ้าและลด Charging แต่ต้องระวังสัญญาณ Ag ในผล EDS
การติดตัวอย่างบน Stub มีผลโดยตรงต่อคุณภาพของภาพ SEM และผล EDS
ถ้าติดดี ตัวอย่างจะนิ่ง โฟกัสง่าย ลด Charging และตรวจตำแหน่งได้แม่นขึ้น
ถ้าติดไม่ดี ตัวอย่างอาจสั่น หลุด ฟุ้ง ชาร์จ วิเคราะห์ผิดจุด หรือรบกวนผล EDS ได้
ดังนั้นการติดตัวอย่างบน Stub จึงไม่ใช่เรื่องเล็ก แต่เป็นหัวใจหนึ่งของการเตรียมตัวอย่าง SEM/EDS
เพราะก่อนที่เครื่อง SEM จะให้ภาพที่ดี และก่อนที่ EDS จะให้ผลธาตุที่น่าเชื่อถือ ตัวอย่างต้องถูกติดตั้งอย่างถูกต้องก่อนเสมอ
วิทยาศาสตร์ต้องตรวจซ้ำได้ตรวจสอบย้อนกลับได้และต้องใช้เครื่องมือให้ถูกประเภทกับสิ่งที่วิเคราะห์
ซีรีส์ SEM/EDS โดย DOSEMตอนที่ 8/50
การติดตัวอย่างบน Stub คืออะไร
เรียบเรียงโดย
กอล์ฟ มนัสนันท์ ศักดิ์ธนกรสกุล
DOSEM
#ติดตัวอย่างSEM
#การเตรียมตัวอย่าง
#เตรียมตัวอย่างSEM
#วิเคราะห์วัสดุ
#ใช้เครื่องมือให้ถูกประเภท
