19/10/2026
【ASML 技術簡單說 | 微影的黃金三角:運算就是微影的「導航系統」🧭】
如果沒有運算式微影(Computational Lithography),微影製程就像在黑暗中前進的盲目駕駛,不知道方向,也不確定是否走偏。
在奈米級的世界裡,光的繞射、材料反應、製程變異等,都會讓最終圖形產生偏差,因此關鍵在於能不能在「印之前」,就先知道哪裡可能出錯。
這就是運算式微影的核心價值,讓製程從「事後修正」,走向「事前預測」:
🔍 預測風險:在曝光前,透過模擬模型找出可能產生偏差的位置與原因。
🎯 調整路徑:根據預測結果,調整曝光條件與圖案設計,讓實際成像更接近原始設計。
🔁 路況更新:持續回傳量測與實際製程數據,讓預測模型越來越精準。
整個過程,就像導航系統在出發前先分析路況,知道哪裡要轉彎、怎麼走最順,並規劃出最佳路線。🗺️
接下來,將進入黃金三角中的另一關鍵環節:量測與檢測。🔬
趕快追蹤,跟著艾小編繼續學習更多微影技術!🚀